[K-반도체 전략]이재용 방문했던 ASML, 화성에 트레이닝센터 만든다

이재용 삼성전자 부회장(오른쪽에서 두번째)이 ASML의 장비를 들여다 보고 있다./제공=삼성전자

정부가 2030년 종합 반도체 강국으로 도약하기 위한 종합 대책을 담은 ‘K-반도체 전략’을 13일 발표했다.

삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들은 오는 2030년까지 510조원 이상을 투자해 관련 산업을 적극 육성하고 정부는 평택, 용인 등을 주축으로 ‘K-반도체 벨트’ 구축과, R&D 시설투자에 최대 50% 세액 공제 혜택 등 다양한 지원책을 제공한다는 내용이 골자다.

반도체 강국 도약을 위한 다양한 정책 중 글로벌 첨단 장비기업인 ASML이 화성에 첨단 극자외선(EUV) 클러스터에 투자 계획을 밝힌 점이 눈에 띈다. 산업통상자원부에 따르면 네덜란드 ASML은 2400억원을 투자해 트레이닝센터를 조성한다.

ASML은 첨단 반도체 공정에 꼭 필요한 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산해 반도체 업계에서 ‘슈퍼 갑’으로 통한다.

7나노(nm, 10억분의 1m) 이하 반도체를 생산하기 위해 EUV 노광장비는 필수적인데 해당 기술을 보유한 삼성전자와 대만의 TSMC가 ASM의 주 고객이다. EUV 대당 2000억원에 육박하지만 엔지니어들의 수작업이 많아 연간 생산량은 30대 남짓으로 알려져 점유 경쟁이 치열하다.

ASML이 생산하는 노광 장비는 빛을 이용해 미세한 전자회로를 반도체 웨이퍼(Wafer)에 그린다. 7나노, 5나노 등 반도체는 공정이 미세해 질수록 칩 크기는 작아지고 전력 소모는 줄어든다. 반면 같은 면적에 더 많은 집적회로를 넣을 수 있기 때문에 성능은 좋아진다.

작고 미세한 첨단반도체를 만드는 삼성전자, TSMC가 ASML 노광기 물량 확보 경쟁을 벌이는 이유도 여기에 있다.

이재용 삼성전자 부회장은 지난해 10월 노광기 물량 확보를 위해 네덜란드 ASML 본사를 직접 찾았다. 당시 이 부회장은 피터 버닝크(Peter Wennink) ASML CEO 등을 만나 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다.

이 부회장이 당시 코로나19 시국에, 재판을 앞두고 네덜란드까지 달려간 것은 ‘시스템반도체 세계 1위’라는 목표가 그만큼 절박했고, 이를 위해 ASML의 장비 확보가 관건이라는 점을 명확히 보여준다는 평가가 나왔다.